Transpwctor XPR3气体分析系统的特点：

1、新设计的离子源使污染的产生更小，从而延长使用寿命 和提供更清楚的讯号。

2、新型EM在PVD工艺压强下工作，提供更快速、清晰的数据收集和免除FC至EM的转换，简化数据的解译过程。

3、新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力，提高质谱仪分辨同位素的灵敏度，从而改善氢的监测灵敏度。

Transpwctor XPR3气体分析系统是新一代的高压强四极场工艺气体分析仪。它研发于先前INFICON系统成功的基础上，在物理相汽沉积（PVD）检测中具有高灵敏度、准确度和灵活性。一系列技术上的突破使轻便型Transpwctor XPR3的工作范围从20耗乇至超高真空，无需大型负责的压强转换设备。

TRANSPECTOR XPR3的应用：

1、PVD工艺模块

2、预清洗模块

3、Non-cluter PVD设备

4、Clamped的除气模块