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pfeiffer分子泵Hipace 10-700L/s 优点:
1.Hipace分子泵坚固耐用的设计,实践验证的轴承系统提供了产品的*高可靠性
2.结构紧凑,占用空间小
3.高气流量,高抽速
4.集成,效率高的冷却系统
5.可以实现任意位置安装
6.保护级别 IP 54,非常适合工业领域应用的分子泵类型
7.pfeiffer分子泵可以提供适合腐蚀气体的分子泵型号
8.半导体 S2- 和 UL-认证
9.完整的配件系列扩展了分子泵安装的各种可能性
10.我们给您提供更长的分子泵维修间隔
11.我们可以现场更换分子泵轴承
适用领域:
1.半导体生产
2. 真空处理技术
3. 质谱分析
4. 研发及化工行业
产品规格:
型号 | 连接尺寸 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | *高启动压强mbar | 冷却方式 | 启动时间 | 重量 | |||
进气口 | 出气口 | 氮气N2 | 氦气He | 氢气H2 | 氮气N2 | 氮气N2 | min | kg | ||
HiPaceTM 10 | 25 | 16 | 10 | 6 | 3.7 | 3.106 | 25 | 风冷 | 0.9 | 1.9 |
HiPaceTM 80 | 63 | 16 | 71 | 66 | 55 | >1011 | 20 | 风冷 | 1.75 | 2.4 |
HiPaceTM 300 | 100 | 16 | 250 | 260 | 220 | >1011 | 15 | 风冷 | 2.5 | 6 |
HiPaceTM 400 | 100 | 25 | 350 | 500 | 460 | >1011 | 20 | 风冷 | 2 | 12.3 |
HiPaceTM 700 | 160 | 25 | 680 | 720 | 580 | >1011 | 20 | 风冷 | 2 | 12.3 |