Brooks  CTI低温泵

CTI低温泵产品是在低温高真空技术领域*，CTI*的低温泵及低温泵系统设计带来了*的表现，可靠性和生产能力，无论从单个低温泵用于高技术研究领域，还是到复杂的低温泵系统用于半导体生产，数据存储，平板显示，和光学器件，CTI为低温高真空技术制订了标准。

CTI-Cryogenics Products/CTI系列产品

On-Board® IS Cryopump Systems

On-Board® Cryopumps

On-Board® Waterpumps

Cryo-Torr® Cryopumps

Cryo-Torr® 20HP High Performance Cryopump

Compressors

Cryodyne Refrigerators

CTI 智能低温泵产品优势:
1. 专门为离子植入制程所设计的新一代智能型低温泵系统.
2. 砖利的分布式监控系统及个别调整低温泵功能,以维持系统真空效能,提供制程所需的一致性
3. 快速再生系统和可同时控制多组低温泵
4. 节能设计,不需消耗太多能源和冷却水
5. 安装容易,使用方便。
6. 加强型 GOLDLink 软件提供远程监测预防和预测性维护

Brooks  CTI低温泵