货号

CS-3200S4

测量范围/

分辨力

X轴

100mm/0.05μm

Z1轴（检出器）

5mm/0.08μm

0.5mm/0.008μm

0.05mm/0.0008μm

Z2轴（立柱）

1μm

精度（20℃）

X轴

±（0.8+0.01L）μm（L=测量长度（mm））

Z1轴（检出器）

±（1.5+(2H)/100）μm（H=水平位置上的测量高度（mm））

驱动部

直线度（X轴）

正常使用下

0.2μm/100mm

当伸出到zui大程度

0.4μm/100mm

测量速度

表面粗糙度测量

0.02,0.05,0.1,0.2mm/s(4-step)

轮廓测量

0.02,0.05,0.1,0.2，0.5,1.0,2.0mm/s(7级)

驱动速度

X轴（水平方向）

0 to 80mm/s 外加手动

Z2轴（垂直方向）

0 to 20mm/s 外加手动

上/下移动

300mm（电动）

倾角范围

±45°

检出器

检出方式

差动感应

测力

0.75mN

测针名称

标准测针（用于粗糙度/轮廓测量）

针尖角度：60°圆锥，针尖半径：2μm，金刚石针尖

圆锥形（用于轮廓测量）

针尖角度：30°圆锥，针尖半径：25μm，蓝宝石针尖

测针上/下运作

适用（可在半空停顿）