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宁波市所在地
测量范围:X:500mm Y:800mm Z:500mm
结构类型:活动桥式
机台承重:850kg
整机重量:1750kg
整机尺寸:1225mm×1560mm×2480mm
分辨率:0.5μm(选配0.1μm)
测量系统:光电式增量光栅尺,光学刻度20μm
测头不确定度:2.0μm
空间测量不确定度:1.5 + L/1000 (单位:μm)
操作杆操作:0-20mm/s(慢速模式),0-100mm/s(正常模式)
CNC模式(Vmax):单轴300mm/s,空间520mm/s
CNC模式(αmax):单轴900mm/s2,空间1500mm/s2
压缩空气:供气压力4-10bar,要求过滤至ISO8573-1,标准4级或更高
机室温度: 20℃±2℃
机室温度大梯度: 1℃/m,1℃/h,2℃/d
机室湿度:60%±5%
供气压力:﹥0.5MPa
空气流量:160 L/min
振动频率范围: 0-19Hz 19-75Hz >75Hz
振动振幅: 0.0011mm 0.0011-0.002mm 0.002mm
电压:220V±10%
频率:50-60HZ
电流:15A
耗电量:﹤800W
备注:用电设备要求接地可靠:接地电阻小于4欧姆