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洁净室多级碰撞采样器
该多级碰撞采样器将悬浮颗粒按照粒径大小分级采集到硅片,铝膜及其它平面介质上进行扫描电镜或其它技术分析洁净室污染。
仪器特点:
6级碰撞采样
切割直径:0.05、0.1、0.3、1.0、3.0.10um
采集颗粒于不同介质上进行粒径、形状及化学成分分析
噪音低无污染采样泵
采样流量:3L/min
MSP
分级采样器,药物吸入采样器,粒径谱仪等环保监测仪器。
洁净室多级碰撞采样器
该多级碰撞采样器将悬浮颗粒按照粒径大小分级采集到硅片,铝膜及其它平面介质上进行扫描电镜或其它技术分析洁净室污染。