扫描狭缝光束分析仪

DataRay 的 Beam'R2 非常适合许多激光光束分析应用。 Beam'R2 具有标准的 2.5 µm 狭缝和更大的刀口狭缝，能够测量直径小至 2 µm 的光束。 通过选择Si和 InGaAs 或扩展 InGaAs，Beam'R2 可以对 190 nm 至 2500 nm 的光束进行轮廓分析。 扫描狭缝仪器提供比基于相机的系统高得多的分辨率。

DataRay 的 BeamMap2 代表了一种*不同的实时光束分析方法。 它允许沿光束行进在多个位置进行测量，从而扩展了 Beam'R2 的测量能力。 这种实时狭缝扫描系统在旋转圆盘上的多个 z 平面中使用 XY 狭缝对，同时测量四个不同 轴向位置的光束轮廓。 BeamMap2 *的设计良好利于实时测量焦点位置、M²、光束发散和指向。

系统特点

ƒ 符合 ISO 标准的光束直径测量

ƒ 端口USB2.0供电

ƒ 自动增益功能

ƒ 用于符合 ISO 11146 标准的 M² 测量的可选载物台附件。

ƒ True2D 狭缝

ƒ 分辨率高达 0.1 µm

ƒ 探测器选项，190 – 2500 nm

ƒ 5 Hz 更新率（用户可调 2-12 Hz）

ƒ 测量高重复脉冲激光

ƒ 脉冲最小 PRR = [500/(光束直径，单位为 µm)] kHz

BeamMap2 增加了以下功能

ƒ 多 z 平面扫描

ƒ XYZ 截面，包括 θ-Φ

ƒ 焦点位置和直径

ƒ 实时 M²、指向和发散

ƒ 使用 BeamMap2-Collimate 实时测量准直光束的发散度

ƒ 以 ±1 µm 的重复精度（取决于光束）识别焦点

ƒ 可选的 LensPlate2 用于到达难以接近的束腰和重新成像波导

应用

ƒ 非常小的激光束轮廓测量

ƒ 光学组装和仪器校准

ƒ OEM 集成

ƒ 镜头焦距测试

ƒ 聚焦和校准误差的实时诊断

ƒ 将多个组件实时设置为同一焦点

True2D 狭缝

ƒ 蓝宝石衬底上的 0.4 µm 厚度多层金属膜

ƒ 相对于气隙的优势

ƒ 避免隧道效应

ƒ 气隙通常比宽度更深，并且在高辐照度下会弯曲