SPECEL系列椭偏仪和常规椭偏仪相比，SPECEL系列椭偏仪要便宜一半左右，并且还具有以下特点，系统集成了光源、导光器件，可旋转的偏光镜、样品台、CCD阵列光谱仪等器件，其光源入射角设定在70°，但用户可根据需要设定为65到75°，整套仪器想当小巧，尺寸仅为52cm*33cm*24cm。

的特点：

膜厚准确度在1nm，精度在0.1nm
可测量多达25层膜厚
每层膜厚可从0.1nm至8um，450-900nm的光谱范围
光斑大小为2mm*4mm，光学分辨率为200um*400um
适合于平面半透明的材料测量，如晶片、玻璃、薄膜和金属箔等
可选项包括2D位移功能，标准晶片等
附带的软件可以非常容易地存储和载入不同的测量组合模式

的技术指标：