其他品牌 品牌
代理商厂商性质
北京市所在地
使用MicroXact手动探针台进行IV，CV和低电流测试，可提供半导体器件表征所需的精确和精确测量。由于提供多种选项和MicroXact手动探针台的灵活性，晶圆上的晶圆级电容和低电流测试从未如此简单。
特征
手动平台组装可提供额外的预载滑块，便于装载和卸载晶圆或样品。
手动控制压板和卡盘Z位置，进行粗调和微调。
光滑的铸钢压板可容纳多达10个磁性或真空定位器。
同轴和三轴卡盘以及外壳可用于低泄漏电流测试。
标准吊杆安装组件，用于显微镜的全范围XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位
可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位。
可用的RF选项包括可定制的RF探头，RF卡盘和屏蔽罩。
型号 | SPS-1000 | SPS-2000 | SPS-2200 |
晶圆尺寸 | 高达150mm | 高达100mm | 高达200mm |
XY舞台行程 | 100mmx100mm或150mmx150mm标准 | 高达125mmx125mm | 高达200mmx200mm |
系统尺寸 |
| 56厘米宽x 51厘米深x 61厘米高 | 92米宽x 122厘米深x 92厘米高 |
系统重量 |
| 35kg至45kg，具体取决于所选的选项 | ~70公斤 |
