SL1-AV FL2B-4J6-日本山武AZBIL（yamataka）检测传感器全国一级总代理_日本山武、山武阀门、山武传感器、山武电动执行器调节器-乐利中国有限公司手机版

详细介绍

日本山武AZBIL(yamataka)检测传感器全国一级总代理

概要

PBZ激光传感器采用平行激光束和一个CMOS线性图像传感器专长检测薄膜、晶圆或玻璃基板的边缘位置。

FDN算法
高精度的边缘检测*1
针对检测面污垢会影响检测精度的课题，配置了线性图像传感器和光量衰减报警功能。
透明物体检测用算法
可稳定检测透明物体。
标准双通道输入控制器
可进行双检测值运算，减少布线工作量，节省空间。
RS-485通信(仅对应PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可将数据传输至PLC及触摸界面。
安全性能
JIS 1级光束。不需要任何特别保护措施。
多功能
可忽略薄膜不规则部分的干扰消除功能*2
玻璃基板对准时倾斜度θ计算功能*3
通过位置变化检测功能可检测出玻璃基板上的缺口和裂痕*3

*1. 重复精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. 仅限于 PBC-201VN0/2
*3. 仅限于 PBC-203VN2

测定内容

控制器型号	边缘位置测定 (透明体或不透明体)	遮光宽度测定	间隙测定
7 mm传感器头用PBC-201VN0	○	―	―
7 mm传感器头用PBC-201VN2	○	○	○
30 mm传感器头用PPBC-203VN2	○	―	―

重复精度 ±1 μm* — 准确检测出真实的边缘位置

FDN算法是一种对于任意的工作距离(WD)都能准确地计算出真实的边缘位置的算法。

*PBZ-CL007V的重复精度为±1 μm，PBZ-CL030H/V的重复精度为±5 μ。检测条件请参照规格。

菲涅尔衍射
光射在刀片或薄膜等薄型物体边缘处会发生衍射。受光部衍射光的强度分布取决于受光器与薄型物体之间的距离(WD)。

不受检测面污垢引起的受光光量衰减的影响

受光单元采用线性图像传感方式，不受检测面污垢的影响，实现高精度的检测。并且，
配置了“光强度衰减报警功能”，到了维修时期便会发出警报。

传统方式(PD)
因遮光引起受光量的减少，使PD的线性输出发生变化。这种传统的PD方式，由于受光面污垢（或检测物透明度）造成受光光量衰减，使输出值发生变化。所以，为了防止污垢，需要进行空气吹扫。

本公司的线性图像传感方式
根据各像素的亮度信息，测出遮光宽度。即使受光光量衰减，只要线性图像传感器的入光量不变，边缘位置的输出值就不会变化。

干扰消除功能

不检测标签等凸起物，只检测薄膜的边缘。
将当前的测定值与设定时间（输出延迟时间）前的数值进行比较，如果变化量超过了设定值（跳读设定值），则保持变化前的数值并将其模拟输出。

θ演算功能

根据玻璃边缘的位置变化，演算倾斜度θ后输出。测量范围：±3°。

缺口检测功能（位置变化输出）

设定位置变化时间(T)和位置变化量(L)，如果变化量超过设定的倾斜度，进行数字(DO)输出。

应用

检测晶圆的偏芯和缺口位置
能够稳定检测透明度高的玻璃晶圆或砷化镓晶圆。并且，由于采用了线性图像传感方式，因此还能越过视孔进行检测。

检测薄膜蜷曲
通过使用2对传感器探头计算传感器探头间的输出值，可同时检测薄膜蜷曲和薄膜宽度。

检测薄膜和薄片厚度

检测玻璃基板凹凸和裂痕
利用位置变化检测功能，可检测到传送带上的玻璃基板边缘的缺口和裂痕。

测定玻璃基板的XYθ
利用3对传感器，除了能计算玻璃基板的X和Y值外，还能通过内部演算计算出θ值。

规格

	平行激光束类型
	传感器	控制器		传感器		控制器
型号	PBZ-CL007V	PBC-201VN0	PBC-201VN2	PBZ-CL030H	PBZ-CL030V	PBC-203VN2
检测宽度	7 mm			30 mm
测定距离	10 - 300 mm			10 - 500 mm
工作距离(WD)	10 - 290 mm			10 - 490 mm
移动精度	±20 μm zui大*1			±50 μm zui大*3
重复精度	±1 μm zui大*2			±5 μm zui大*4
模拟输出更新周期	―	500 μs		―		10 ms
传感部温度特性	0.1 % FS/°C	―		0.1 % FS/°C		―
使用温度范围	0 - 45°C
使用湿度范围	30 - 85 % RH
电源电压	―	24 Vdc ± 10 %		―		24 Vdc ± 10 %
模拟输出	―	1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 输出		―		1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 输出
事件输出	―	同步型晶体管输出：4 点		―		同步型晶体管输出：4 点
外部输入	―	2		―		2
数字显示	―	7段4位		―		7段4位
光源	可视半导体激光: JIS 1级	―		可视半导体激光: JIS 1级		―
保护结构	IP40	―		IP40		―
通信	―	―	RS-485	―		RS-485
传感器探头与控制器间的缆线总长度	zui大 5 m			zui大 30 m

上述规格是检测物体和边缘方向被设定为“不透明体TOP”或“不透明体BOTTOM”时的数据。其他设定时，请与本公司。

*1. 投受光器间距离=20 mm，工作距离=10 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±0.5 mm时。
*2. 投受光器间距离=20 mm，工作距离=10 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±3.5 mm的条件下，重复20次的平均值。
*3. 投受光器间距离=100 mm，工作距离=50 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±0.5 mm时。
*4. 投受光器间距离=20 mm，工作距离=10 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±15 mm的条件下，重复20次的平均值。
工作距离(WD): 受光器与检测物之间的距离

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AVP202-PSD3A-XDXX-X
AVP201-PBD5A-1X-W
AVP301-XSD4A-1XXX-W
AVP201-PBD5A-1X-W
AVP301-XSD4A-1XXX-W
AVP302-FSD3A
AVP302-MSD3A
AVP300-RSD3A
AVP300-RSD3A-1
AVP300-RSD4A
AVP300-RSD5A
AVP300-RSD4A-1
AVP301-RSD3A
AVP301-RSD3A-1
STG940-E1G-00000-X-E9
STC940-E1RJB2J01-X-XX
STG940-E1G-00000-X-E9
AVP100-H
AVP102-H
AVP301-RSD5A-XXXX-X
AVP301-RSD5A-XXXX-W
STD920-E1MPC1D7E9
PTG71G-L5BPHM-X
JTD921A-1E1M1-X1XX1-T1
JTG980A-1E1B1-X1XX1-T1
AGVB/1BWCB/316SS AVP300
AGVB2BSCS13A/316SST AVP300
AGVB 1-1/2B WITH AVP300
AGVB 1B WITH AVP300
PTG71G-L4B1PH-M-X
MTG18A-025PD2KSDA 电极 Ti 0-2,OM3/h
MTG18A-080PD2CSDA 电极：哈氏C 0-100M3/H
型号
HTY7903T4P00
TY6800Z3000
HY7903T4000
MY6042A1001
81407861-001
DMC50CH400000000
EST0555Z05BES00
HY7913T4000
TY7043Z0P00
83165803-001
TY6800Z3000
VEN4020B1100
VY5110L0022
HTY7803T4P00
TY6300Z5000
HY7913T1000
HY7043T1000
MY3000F0200
83165803-001
TY7803Z0P00
MY3000D0200新
TY6800Z2010
12624AA-J
HTY7803D4400
83157235-001
HY7903T1000
QY5111A1001
MY5350A1000
83162945-003
型号
VCL-5001

VCX-5001

CMC10G001A00

AUD300C210D
P31A5K0AS002D0
C15TR0RA0100已停产
C15MTR0RA0100替代上
VCL-5001-A
C315GA004500
1lx-5001
VCX-5101-H
1Lx5003
P31A5G0AS00100
SRf106AS101D0
HPX-H1
CP18-D1D
CP18-RD
GL5193
GL5100
GL5530
C205GA00101替代C25TC0UA1100
C7035A500J
C7035A500J
C35TR1UA10D0
RA890G117
M6284C1028
HPF-D002
HPF-T003
HPX-T1
1LS-J550EC
1LS-J500EC
est0555Zbes00
dmc50ch400000000
dmc50-cbl-ab1
dmc50-cbl-bb1
LDVS-5304S
P31A5G0AS01200
VCX-5103-R
CMQ0005CSSH000000H2 0~1000SCCM
CMQ9500CSSN000000AIR 0~500SCCM
MQ0050KSSN000000N2 0-400SLM
CMQ0050CSSH000000
FL2-4T7R-F
1LS-J503H
6LS3-JH
1LS-J503H
6LS3-JH
GL5193
GL5100
GL5530
GL5102
GL5191
DMC10S4TV0000
C15TROTA0100
HP300-S1
HPF-D026
AUD500C21010
C6097A 0110
L404F204 0-350kPa
L404F208 35-1000kPa
PS5D-ASYZ24
ATN110A-1
ATN110A-1
C10T0DTA0100停/C15MTR0TA0100
SDC36TCCUA4000
FL7M-4J6AD
FL7M-4J6AD
HPF-T026
PS5D-ASGZ24
FL7M-8J6ND
FL7M-8J6ND
HPJ-D21
1LS-J503
1LS1-J
1LS1-J
129464NJ
C36TCCUA1200
FL7M-4J6ND-Z
5LS1-J
BZ-2R3000-T4-JK
SL1-PN3
ECM3000G9110
ECM3000F0110
HPX-NT4
HPX-NT4
C25TR0UA2000
C36TR0UA2100
C36TR0UA1100
Q270A1024G
V-5415DK
BZ-2RQ18-T4-G
ECM3000F2110
RA89G117X2
Q270A1024
FRS100C100
FRS100C200
SRF212AS401D0
C6097A0110
C36TR1UA23Y0
C25TR0UA20Y0
RN748A0000
C6O97A0310
C6097A0410
SRF212AS001D0
FL2-4T7R-F
FL2-4T7R-F
HP300-T1
L4086A212
SRF102AB00000
HPV-D13
ECM3000F0200
SPS300A205A200
SPS300A205A200
CMS9500BSRN2000Y0
FRS100C250
FRS50A100
FRS60A100
1LX5703-J
MTG18A025P11LSAAAAAX   25A
MTG18A050P11LSAAAAAX      50A
VCX-5003
VCX-5003-R
FL7M-8J6ND-Z
VCX-5103-H
VCX5101-H

1LS-J500ECA4

1LS-J500ECD

1LS-J500EC-PA

1LS-J500EC-PD

1LS-J500EC-PD03

1LS-J500G

1LS-J500GE

1LS-J500GEC

1LS-J500H

1LS-J500K

1LS-J500KEC

1LS-J500KH

1LS-J500KL

1LS-J500L

1LS-J500M

1LS-J500R

1LS-J500RK

1LS-J500RSE

1LS-J500RSEC

1LS-J500S

1LS-J500SE

1LS-J500SEC

1LS-J500SEC-MD03

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1LS-J500S-MD03

1LS-J501

1LS-J501E

1LS-J501EC

1LS-J501K

1LS-J501KEC

1LS-J501L

1LS-J501-PD03

1LS-J501R

1LS-J501REC

1LS-J501S

1LS-J503

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1LS-J503EC-PD

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1LS-J503H

1LS-J503K

1LS-J503KEC

1LS-J503KL

1LS-J503KS

1LS-J503L

1LS-J503M

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1LS-J503RK

1LS-J503S

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