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合肥市所在地
型号 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 | |
行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
外部尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1620 | |
重量(kg) | 240 | 250 | 310 | 400 | |
承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
测量精度 | XY轴* | E2=(2.0+L/300)µm | E2=(2.5+L/300)µm | ||
Z轴** | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
速度 | XY轴 | 200mm/S | |||
Z轴 | 100mm/S | ||||
光栅尺 | Renishaw光栅尺 | ||||
CCD | 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
光源 | 轮廓光 | LED冷光源,256级亮度可调 | |||
表面光 | 6环8区LED冷光源,各段独立操控,256级亮度可调 | ||||
同轴光 | LED冷光源,256级亮度可调 | ||||
光学系统*** | 6.5:1可变倍,放大倍率29~163或58~326 | ||||
软件 | Vispec测量软件 | ||||
运动控制 | 自主的CNC直流伺服系统 | ||||
保修期 | 1年 | ||||
工作环境 | 温度20℃±2℃,温度变化<2℃/hr,湿度30~80% | ||||
振动<0.002g,低于15Hz | |||||
电源 | 220V/50Hz/10A |