日本堀场HORIBA痕量气体在线分析仪

GA-370 用于空气分离和半导体工厂生产的高纯气体的质量管理，为气体生产设施的质量管理提供连续的，高灵敏度及高准确度的微量杂质（CO,CO2,CH4）监测。

1. 高灵敏度的监测

▶       采用交替流动调制型双光束非分散红外吸收法（NDIR），零点极其稳定，无漂移。

▶       小检测限（MDL）为10 ppb，可支持需要高精度测量的应用。

GA-370痕量气体分析仪内置的红外光源的光束通过气室到达检测器。在测量过程中，电磁阀交替地将样气和参比气体引入到分析仪的测量气室中。

与气室中充满参比气体时的情况相比，当气室中充满样气的时候，样气中的CO、CO2以及CH4会引起到达检测器的光强度的不同。检测器检测到的两种气体对光的吸收差异，使检测器薄膜发生偏转而振动。采用这种测量技术能省去光学斩波器和光学调整的需要，消除零点漂移，提高了灵敏度。

二．高纯气体中微量杂质的监测

▶       可应用于典型平衡气体如：氮气，氧气，氦气，氩气，氢气和空气。

       如有需要用于测量其他平衡气的情况, 请联系我司。

三．操作简便，免维护

▶     操作简便的屏幕菜单简化了分析仪的校准和测量等各项操作。

▶     无需光学调整。

▶     触摸式彩色液晶显示屏（LCD）能够以图表方式显示历史数据。

四．典型应用

一般情况下，工业气体如氧气和氮气，是由空气分离设备制造的。将除去水分（H20）和二氧化碳（CO2）的原料空气通入分离装置，分离装置利用氮气（N2）、氩气（Ar）和氧气（O2）三者沸点不同分离出不同气体。同样地，空气分离设备也能制造其他稀有或惰性气体，如氢气（H2）和氦气（He）。

HORIBA 的GA-370痕量气体分析仪能有效测量分离后气体中的杂质，保证了气体质量。

五．在线分析仪GA-370技术参数:

型号： GA-370

测量组分： CO, CO2 和 CH4

高纯气体种类： N2，O2，He,  Ar,  H2,  Air

测量组分数： 1-2种（由平衡气体种类决定）

测量原理：交替流动调制型双光束非分散红外吸收法（NDIR）

量程：0～1/2/5/10 ppm

检测下限：10 ppb

零点漂移：≤±0.02 ppm/天, ≤±0.03 ppm/周

量程漂移：≤±2% F.S./天, ≤±3% F.S./周

响应时间：≤180s

外形尺寸和重量：430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括突出部分)，约18 kg

电源：100～240 V AC，≤±10% (大电压：250 V AC)

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