苏州勒丰精密仪器有限公司（德日维修部）专业从事日本三丰，德国马尔等品牌，以“质量*”为宗旨，向范围的广大市场提供千分尺，卡尺等量具；三坐标测量机，形状测量系统，视像测量系统，光学仪器等系统精密测量仪以及专业维修服务中心。公司技术力量雄厚，多名工程师都是来自世界*的量具生产企业，配件采用日本*，计量试验室仪器都是进口测量仪器，为客户解决维修后精度不良的后顾之忧，品质服务由计量质量检测部门支持并出具相关维修产品的检测报告，并与日本三丰“Mitutoyo”总代理建立有长期稳定的合作关系。是大陆地区*的量具量仪销售及维修服务商之一。

378 系列 — 半导体检测用显微镜

特点

• 此光学系统zui初是为的 FS60 型 （后升级为 FS70 型） 而开发的。它作为测量检测半导体器件的显微镜是很理想的。

• FS70L 支持3 种YAG 激光波长（1064nm,532nm, 355nm）， FS70L4 支持 2 种波长（532nm,266nm），可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。这就扩大了激光的使用范围。然而，使用三丰量具对显微镜的激光系统的性能和安全性，三丰公司不负责任。我们推荐在选购激光发射器时应仔细检查。

• FS70Z 的标准功能有：亮视场，微分干涉对比 （DIC） 和偏振观测。FS70L 和FS70L4 不支持 DIC。

• 使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。

• 极易操作的设计：FS70 采用正像光学系统（视场中的像与样品方向相同） 并用橡胶把手加大微调手轮。

短基座型号FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS

货号378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4

对焦50mm 行程，同心焦距粗调（3.8mm/rev） 和微调（0.1mm/rev） 手轮（左、右）

图像正像

瞳距Siedentopf 型、调节范围：51 - 76mm

视场数24

俯角— 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20°

透过率50/50 100/0 或

0/100

50/50 100/0 或

0/100

100/0 或 0/100 100/0 或 0/100

保持性滤光片— — 内置激光射线滤光片内置激光射线滤光片

管镜头1X 1X - 2X zoom 1X 1X

适用激光— — 1064/532/355nm 532/355nm

相机端口C-mount （使用适配器B 选件） 使用带有电视端口的

激光器

C-mount 插座

（带有绿色滤光片转换开关）

照明系统、选件亮视场反射照明（科勒照明、带孔径光阑）

12V 100W 光纤、无极亮度调节、光导长度：1.5m、功耗 150W

物镜、选件

（用于观察）

M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

物镜、选件

（用于激光切割）

— M/LCD Plan NIR,

M/LCD Plan NUV

M Plan UV

载重* 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg

重量 （主机） 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg

* 光管的载重不包括物镜镜头和目镜的重量

性能参数

型号FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH

货号378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3

技术参数

对焦

• 方法: 有同心粗调和微调手轮（左和右）

• 范围: 50mm 测量范围

微调0.1mm/rev 同心粗调3.8mm/rev

三目镜筒图像: 正像

瞳距: Siedentopf 型

调节范围: 51 - 76mm

视场数: 24

俯角: 0º - 20º （仅用于 -TH, -THS 型号）

照明系统: 亮视场反射照明（科勒照明、带孔径光阑）

光源: 12V100W 光纤、无极亮度调节）,

光导长度1.5m、功耗 150W

物镜 （选件）: M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

性能参数

型号FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH

货号378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3

短基座型号FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS

货号378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4

对焦50mm 行程，同心焦距粗调（3.8mm/rev） 和微调（0.1mm/rev） 手轮（左、右）

图像正像

瞳距Siedentopf 型、调节范围：51 - 76mm

视场数24

俯角— 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20°

透过率50/50 100/0 或

0/100

50/50 100/0 或

0/100

100/0 或 0/100 100/0 或 0/100

保持性滤光片— — 内置激光射线滤光片内置激光射线滤光片

管镜头1X 1X - 2X zoom 1X 1X

适用激光— — 1064/532/355nm 532/355nm

相机端口C-mount （使用适配器B 选件） 使用带有电视端口的

激光器

C-mount 插座

（带有绿色滤光片转换开关）

照明系统、选件亮视场反射照明（科勒照明、带孔径光阑）

12V 100W 光纤、无极亮度调节、光导长度：1.5m、功耗 150W

物镜、选件

（用于观察）

M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

物镜、选件

（用于激光切割）

— M/LCD Plan NIR,

M/LCD Plan NUV

M Plan UV

载重* 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg

重量 （主机） 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg

* 光管的载重不包括物镜镜头和目镜的重量