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烘箱过程MES管理控制系统400度高温无尘无氧
400度高温无氧烤箱主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
400度高温无氧烤箱主要技术指标
1、洁净等级:Class100级
2、含氧量:<=20PPM
3、使用温度:RT~400℃,最高温度:450℃;
4、腔体数量:2个,上下布置;独立控温
5、炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶
6、空炉升温时间:1.5h;
7.空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时 (采用水冷及风冷);
8.智能控制系统:日本欧姆龙PCL+PC工控电脑
智能控制系统特点:
◆ 可接入MES和ERP通讯
◆ 权限分级管理,给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码
◆ 智能控制系统,历史数据、操作、报警,事件等等数据查询,记忆操作步骤,操作便捷
◆ PC 内部记录数据,使用 Excel 等常用软件可以读取,最短数据记录间隔5S;
工艺线标准
1、在常温下以3-5℃/min升温速率升温40分钟到200℃
2、200℃状态下恒温45分钟
3、再40min升到375℃
4、375℃恒温1H
5、最后以每分钟3-5℃的降温速率,79min左右从375℃降到75℃
公司名称:上海旦顺实业有限公司
烘箱过程MES管理控制系统400度高温无尘无氧