质量范围：1~100amu 1~300amu
质量过滤器：6mm四极杆
一般灵敏度：0.15mA/Torr
压力范围：大气压到10-9Torr，皮拉尼压力（真空）计和贝阿德-阿尔珀特真空计组合
扫描频率范围：1,000~0.1 amu/sec
质量校正稳定性：加热后（30分钟）+/-0.1 amu
分辨率：质量数范围内1amu
离子源：开放式，电离源
灯丝材质（双灯丝设计）：钍铱
电子能量范围：10-150 eV
电子发射电流：0.1-5 mA
探针材料：304SS，科瓦铁镍钴合金，氧化铝，钨，依，铜，镍
探针镶嵌法兰：70mm
退火温度：300℃
电源zui高使用温度：50℃
电源要求：2.1A/24伏直流电，100/250伏交流电，50/60赫兹电源适配器供应
总重：2.27Kg

Extrel残余气体分析仪可用在两个质量数范围：1~100amu或者1~300amu。系统标配法拉利杯检测器，可选配法拉利杯/电子倍增器双检测器。

系统装备有一个皮拉尼压力（真空）计和贝阿德-阿尔珀特真空计，这使得用户能得到从大气压到超高真空的全范围压力检测。

Extrel残余气体分析仪装配上完整的泵站后可作为一个系统使用。泵站包括：一个70 l/s涡轮分子泵，膜泵， 毛细管进样口。腔使用2 （二又四分之三）英寸法兰镶嵌。

Extrel残余气体分析仪利用RS-232或USB接口与Windows 2000或windows XP操作系统通讯。软件功能强大，易于使用。

Extrel残余气体分析仪是一种结果可靠、操作简便的全压力范围检测的残余气体分析仪。它在同价位的仪器中能提供的性能，能提供理想的背景气分析、泄露气体检测和真空腔表征。

应用领域：

残余气体分析
UHV腔
除气
泄露检测
TPD
等离子体分析
燃烧分析
排放分析

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