其他品牌 品牌
经销商厂商性质
上海市所在地
美国mks传统质量流量控制器
1179C 是一款通用质量流量控制器,设计用于测量和控制各种应用中的气体流量。1179 Mass-Flo® 控制器的满量程范围为 10 sccm 至 20 slm,可提供低至 0.2 sccm 的快速、可重复的流量控制。当连接到合适的压力传感器时,它也可以用作压力控制器。
流量范围从 10 sccm 到 20 slm
传感器设计提供出色的零点稳定性
快速预热时间可最大限度地减少代价高昂的生产停机时间
与早期的 MKS MFC 和电源/读出模块兼容
规格
控制范围 满量程的 2% 至 100%
满量程流量范围 10、20、50、100、200、500、1000、2000、5000、10000、20000 sccm(相当于 N2)
配件类型 世伟洛克® 4 VCR®, 世伟洛克 4 VCO®, 1/4“ 世伟洛克®
模拟量 I/O 连接器 9 针或 15 针“D”型
密封材料 丁腈橡胶, 氯丁橡胶®, 卡尔雷斯®
最大入口压力 150 磅/平方英寸
正常工作压差 10 至 40 psid(10 至 5000 sccm)15 至 40 psid(10000 至 30000 sccm)(MFC 出口处有大气压)
典型精度 满量程的 ±1.0%
重复性 满量程的 ±0.2%
分辨率 满量程的 0.1%
零温度系数 <满量程的0.05%/°C
量程温度系数 <读数的0.08%/°C
压力系数 <读数/平方英寸的 0.02%
预热时间 2 分钟
典型建立时间<2 秒
工作温度 0° 至 50°C
电源要求 ±15 VDC(200 mA 启动,100 mA 稳态)
设定点命令信号 0 至 5 VDC,<20K Ω
接液材料 316L 不锈钢, 氟橡胶®, 镍
外部泄漏完整性 < 1 x 10-9
通过关闭阀门实现泄漏完整性<1.0% 满量程,40 psig 入口大气
合规 行政长官
美国mks传统质量流量控制器型号:
1179C01311CR1BV 1179C01311CS1BV 1179C01312CR1BV 1179C01312CS1BV 1179C01313CR1BV
1179C01313CS1BV 1179C01314CR1BV 1179C01314CS1BV 1179C01321CR1BV 1179C01321CS1BV
1179C01322CR1BV 1179C01322CS1BV 1179C01323CR1BV 1179C01323CS1BV 1179C01324CR1BV
1179C01324CS1BV 1179C01351CR1BV 1179C01351CS1BV 1179C01352CR1BV 1179C01352CS1BV
1179C01353CR1BV 1179C01353CS1BV
形状-配合-功能替换 MFC
1179C 是当今市场上最常见的 MFC 的直接形状配合功能替代品。标准的 3 英寸基底面使 1179C 能够直接插入同一空间,而无需修改现有的气体管路。电连接器是相同的“D”型连接器,具有与行业同类产品相同的引脚、信号和功能,因此无需重新布线电缆或连接器。1179C 与 MKS 或其他制造商的 MFC 电源和显示电子设备兼容。
形状-配合-功能替换 MFC
1179C 是当今市场上最常见的 MFC 的直接形状配合功能替代品。标准的 3 英寸基底面使 1179C 能够直接插入同一空间,而无需修改现有的气体管路。电连接器是相同的“D”型连接器,具有与行业同类产品相同的引脚、信号和功能,因此无需重新布线电缆或连接器。1179C 与 MKS 或其他制造商的 MFC 电源和显示电子设备兼容。