薄膜材料的真空、等离子制备、处理技术现已被广泛应用于半导体、光电、太阳能等域的研发以及成产当中,这些技术包括: 等离子体增强化学气相沉积反应器(PECVD Reactors) 脉冲激光沉积系统(Pulsed Laser Deposition) 磁控溅射系统(Sputter Deposition System) 电子束沉积系统(E-beam Deposition Systems) Quantum Design 引进多家真空等离子生产商设备,产品线涵盖通用系统到定制设备,来满足中国科研机构的不同需求,适合实验室及工业使用。 等离子体增强化学气相沉积系统 (PECVD) 应用域:
SiO2、Si3N4、非晶硅、类金刚石薄膜、光学薄膜、介质膜等制备 太阳能电池研发 石墨烯制备 碳纳米管选择性制备 等离子诱导表面改性 等离子清洗(NF3) 反应离子蚀刻
NPE 系列:标准化射频等离子体怎强化学气相沉积系统(RF-PECVD reactors)
资料下载 FLARION 系列:射频等离子体增强化学气相沉积系统,高开放性、可扩展定制 资料下载 MIRENIQUE 系列:微波-等离子体化学气相沉积系统(MW-PECVD reactors),高开放性、可扩展定制
资料下载 脉冲激光沉积系统 (Pulsed Laser Deposition systems)
应用域:
高温超导材料研发 铁电材料 铁磁材料 光学材料 电介材料 硬质薄膜 透明导电氧化物(TCO)沉积,如ITO,ZnO 功能陶瓷薄膜 纳米结构生长 聚合物薄膜
GLAZE 系列:中小型,高扩展性制式系统
资料下载 JUV 系列:大中型、复杂定制PLD系统
欢迎垂询具体技术细节。 MAGNION 系列:磁控管阴和磁控溅射系统(sputtering cathodes and PVD deposition systems)
资料下载 FLOCON 系列:电脑控制气体管理系统 (computer controlled gas management systems)
资料下载 此外,Plasmionique公司还可以定制:电子束沉积系统(E-beam Deposition Systems) 混合沉积系统(Hybrid Deposition Reactors) 等离子 离子注入系统 (Plasma Ion Implanter) 分子束外延系统 (MBE Systems) 等离子、反应离子、深反应离子蚀刻反应器(PE, RIE. DRIE Reactors) * | 高速高分辨率拉曼成像显微镜 > 线扫描激光束;> 多光谱同步测量; >狭缝聚焦; > XY方向260nm空间分辨,...... | * | 时间分辨精细阴荧光分析系统 - attolight > 定量测量SEM-CL; >300um视场, 10nm空间分辨率; >10ps时间分辨率; > 20-300K,...... | * | 高光谱化学成像工作站SisuCHEMA > 推扫式成像> 400~1000nm; >900~1700nm; > 1000~2500nm; >整合数据采集处理软件,...... | * | 有机/金属薄膜沉积系统(OLED) > 1~6室沉积系统> 有机-金属,同室/异室沉积 > *湿度控制技术,> 精确速率控制 | * | 无掩膜激光直写光刻系统 > 0.6, 1, 3; 5, 10um分辨率 > 300mm2/min直写速度; >200nm对准精度 |
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