Lake Shore 品牌
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北京市所在地
Lake Shore的TTPX探针台是一款经济的、入门级的探针台,能够进行各种非破坏性的标准电子器件测量。紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究环境。
TTPX探针台通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供高效的低温操作和控制,系统在4.2 K至475 K的温度范围内运行,可扩展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范围。该系统可容纳直径达51 mm(2英寸)的完整和部分晶圆片。各种探针、测试电缆、样品支架和选件使其能够满足多种特定的测量应用。
TTPX探针台是Lake Shore为光电材料表征而设计的高丶端产品,它具有背面光学接入选件和兼容的光学样品座。I-V、C-V和微波测量是TTPX的标准选件。TTPX的多功能性和经济性使其成为世界各地许多研究人员的首丶选工具。
主要特征:
√ 温度范围4.3 K~475 K
√ 可选低温3.2 K,可选高温675 K
√ 标准2英寸(51 mm)样品
√ 紧凑型桌面设计
√ 样品振动<30 nm可选
√ 环形磁体选件最大0.19T
√ 允许样品背光接入
设备参数:
温度范围 | ||
安装2个探针臂 | 基础温度4.3 K,控制范围4.4 K ~ 475 K | |
安装4个探针臂 | 基础温度4.325 K,控制范围4.4 K ~ 475 K | |
安装6个探针臂 | 基础温度4.35 K,控制范围4.4 K ~ 475 K | |
安装PS-LT低温选件 | 基础温度3.2 K,控制范围3.3 K ~ 475 K | |
安装PS-HTSTAGE高温选件 | 基础温度20 K,控制范围20 K ~ 675 K | |
温度稳定性 | 液氦 | 液氮 |
基础温度 (无加热控制) | ±15 mK | ±20 mK |
<10 K | ±50 mK | — |
10 K ~ 100 K | ±20 mK | ±50 mK |
101 K ~ 250 K | ±15 mK | ±50 mK |
251 K ~ 350 K | ±15 mK | ±100 mK |
351 K ~ 675 K | ±50 mK | ±100 mK |
真空 | 以TPS-FRG分子泵组为标准 | |
抽真空时间 | 15 min (<1 × 10-3 Torr) | |
室温 | <5 × 10-4 Torr | |
基础温度 | <1 × 10-5 Torr | |
最高温度 | <5 × 10-3 Torr | |
循环时间 | ||
总循环 | 2 h | |
抽真空 | 15 min | |
探针台冷却 | 45 min | |
探针台升温 | 60 min | |
样品 | ||
最大尺寸 | 51 mm(2英寸)标准 | |
样品背光接口 | 5 mm (0.2 in) 直径 | |
样品旋转 | 无 | |
样品振动 | <300 nm标准,<30 nm选配PS-PVIS减震选件 | |
探针配置 | ||
最大探针数 | 6 | |
探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
冷却探针支架 | <35 K(样品在基础温度下) | |
探针支架 | 连接样品台热沉 | |
探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
光纤探针 | 可用于电光测量 | |
落针范围 | 所有探针均可在直径为25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针 |