SID4 R-CUBE 为一台集成式照明模块，可配合SID4系列波前位相传感器构成双光路光学元件测试系统。SID4 R-CUBE提供高品质的准直光源照明（可选择透镜构成汇聚/发散光源），并可直接连接至SID4系列传感器。可用于大口径平面及曲面镜片，透镜组件的测试及校准。

照明及光路组件SID4 R-CUBE主要特征：

l <20nm rms 精度

l <2nm rms 分辨率

l 震动不敏感

l 紧凑尺寸

l 用户可选照明波长

l 与平移台/ 旋转台/ 倾斜台兼容

照明及光路组件SID4 R-CUBE主要参数：

测试方法图示：

l 用于自适应光学中消除分析臂的望远镜像差

1：SID4 位相传感器；2：SID4 R-CUBE模块；3：扩束望远镜。

l 大口径平面镜测试

l 双光路镜头品质测试：镜头，物镜，望远镜...任意尺寸与放大率

l 凹面镜测试

图例：1. SID4 波前传感器；2. SID4 R-CUBE照明模块；3. 望远镜/ 扩束镜；4. 待测（平）表面；5. 待测光学元件；6. 参考凹面镜；7. 物镜（光束变换用）；8. 待测凹面镜