半导体膜厚测试仪-OPTM 

R&D ！ QC ！ 植入设备！ 都可简单实现高精度测量！

测量目标膜的绝对反射率，实现高精度膜厚和光学常数测试！ （分光干渉法）

半导体膜厚测试仪特 长　Features

·膜厚测量中必要的功能集中于头部

·通过显微分光高精度测量绝对反射率（多层膜厚、光学常数）

·1点只需不到1秒的高速tact

·实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外～近红外）

·通过区域传感器控制的安全构造

·搭载可私人定制测量顺序的强大功能

·即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数

·各种私人定制对应（固定平台，有嵌入式测试头式样）

测量项目　Measurement item

·绝对反射率测量

·膜厚解析

·光学常数解析（n：折射率、ｋ：消光系数）

构成图

式 样Specifications

※ 上述式样是带有自动XY平台。

※ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。

＊ 膜厚范围是SiO2换算。