手动探针台：手动探针台是手动控制的，这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要最少的培训，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点，非常适合研发人员使用。
 
半自动探针台：半自动探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的分析仪器，于2004年3月17日启用。支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4个SMU接口，可同时输出(测量)四路直流信号。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 测量功率100V*10mA。 开路漏电流20fA。通过和外接的测试仪器4156C以及温度控制设备TP03000A的连接，组成一个测试平台，完成对器件封装前的电性能测试(电阻，C/V,击穿特性等)。