林赛斯 薄膜综合物性分析仪 TFA主要特点： 

高效便捷的薄膜材料表征手段（nm到um薄膜测试）

不同温度下的测量（-170 to 200℃<-可选300℃>）

样品易于制备和处理

高的测量适应性 （样品厚度，电阻率，沉积方式）

一个样品，一次同步测量即可获得所有相关参数

适用于金属、陶瓷及有机材料

●基本测量单元：

测量室，真空泵，带加热器的支架，电子颊侧装置，集成锁相放大器，3w方法分析软件，计算机和应用软件。可测以下物理参数：

l - 热传导系数(稳态法/平面内方向)

r - 电阻率

s - 电导率

S - 赛贝克系数

e – 发射率

cp - 比热容

●磁测量单元：

林赛斯 薄膜综合物性分析仪 TFA可根据需求选择集成式电磁铁，可测物理参数如下：

AH - 霍尔常数

μ - 迁移率

n - 载流子浓度

薄膜材料性能有别于块体材料之处

-因小尺寸和高纵横比所导致的表面效应如：边界散射和量子限域效应