韩国Line tech M20系列气体质量流量计具有精度高、响应速度快、重复性好、稳定性佳、软启动、工作压力范围宽等特点（可以在高压或真空条件下工作），其操作使用方便，可任意位置安装调试，并更好的与计算机连接实现自动控制。典型的场合包括：电子工艺设备，如、氧化、CVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、；以及微反应装置、混气配气系统、镀膜设备、光纤熔练、气相色谱仪及其它分析仪器。

韩国Line tech M20系列气体质量流量计主要用于测量以下介质,高炉煤气流量计,焦炉煤气质量流量计,煤气,空气,氮气,乙炔,光气,氢气,天然气,氮气,液化石油气,过氧化氢,烟道气,甲烷,丁烷,氯气,燃气,沼气,二氧化碳,氧气,压缩空气,氩气,甲苯,苯,二甲苯,硫化氢,二氧化硫,氨气。

韩国Line tech M20系列气体质量流量计规格：

量程：从10SCCM-150SLPM

响应时间：2秒

精度：±1%FS

重复性：±0.25%FS

输出：0-5VDC或4-20mA

耐压：小于90bar

韩国Line tech M20系列气体质量流量计气路接头可提供5 种尺寸接管外径的接头类型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

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