CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

CV-4500SB

CV-4500H8

CV-4500W8

测量范围

X轴

100MM

200MM

Z1轴（检出器）

60mm(水平位置±30mm)

Z2轴（立柱）移动范围

300mm

500mm

300mm

500mm

Z1轴

（检出器）

光栅尺类型

弧形

分辨力

CV-3200系列；0.04μm，CV-4500系列；0.02μm

测针上/下运作

弧形移动

测量方向

向前/向后

测针方向

CV-3200系列：垂直方向（向上/向下单独测量）

CV-4500系列：垂直方向（向上/向下根据配重调整）

测力

CV-3200系列：30mN（上下可连续测量）

CV-4500系列：10，20，30，40,50mN（根据软件转换）

跟踪角度

向上：77°，向下：83°（根据表面粗糙度，使用标准单切面测针*1）

驱动部

长度基准

X轴

激光全息光栅尺

Z2轴（立柱）

ABS光栅尺

分辨力

X轴

0.05μm

Z2轴（立柱）

1μm

驱动速度

X轴

0-80mm/s 外加手动

Z2轴（立柱）

0-30mm/s 外加手动

测量速度

X轴

0.02-5mm/s

直线度*2

X轴

0.8μm/100mm

2μm/200mm

倾角范围

X轴）

±45°

精度

（20℃）

CV-3200系列

X轴

±（0.8+0.01L）μm   L=驱动长度（mm）

宽范围：1.8μm/100mm

窄范围：1.05μm/25mm

±（0.8+0.02L）μm   L=驱动长度（mm）

宽范围：1.8μm/200mm

窄范围：1.3μm/25mm

Z1轴

（检出器）

±（1.6+（2H）/100）μm   H=水平位置上的测量高度（mm）

CV-4500系列

X轴

±（0.8+0.01L）μm   L=驱动长度（mm）

宽范围：1.8μm/100mm

窄范围：1.05μm/25mm

±（0.8+0.02L）μm   L=驱动长度（mm）

宽范围：1.8μm/200mm

窄范围：1.3μm/25mm

Z1轴（检出器）

±（0.8+（2H）/100）μm   H=水平位置上的测量高度（mm）

外形

尺寸

主机*3

756*482*966mm

756*482*1166mm

1156*482*1176mm

766*482*966mm

766*482*1166mm

1166*482*1176mm

重量

主机

140kg

150kg

220kg

140kg

150kg

220kg