OLYMPUS/奥林巴斯 品牌
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OLS4100激光共焦扫描显微镜是一款激光扫描显微镜,通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。zui高分辨率达10nm,可以方便快捷地获取影像,同时配备丰富的测量功能。
轻松检测85° 尖锐角
有尖锐角的样品(剃刀)
采用了有着高N.A. 的物镜和光学系统(能zui大限度发挥405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。
主机 | |||
LSM 部分 | 光源、检出系统 | 光源:405 nm 半导体激光 检出系统:光电倍增管 | |
总倍率 | 108x ~ 17,280x | ||
变焦 | 光学变焦1x ~ 8x | ||
测量 | 平面测量 | 重复性 | 00x: 3σn-1=0.02 µm |
正确性 | 测量值的±2%以内 | ||
高度测量 | 方式 | 物镜转换器上下驱动方式 | |
行程 | 10 mm | ||
内置比例尺 | 0.8 nm | ||
移动分辨率 | 10 nm | ||
显示分辨率 | 1 nm | ||
重复性 | 50x: σn-1=0.012 μm | ||
正确性 | 0.2 + L/100 μm 以下(L=测量长度μm) | ||
彩色观察部分 | 光源、检查系统 | 光源:白色LED, 检查系统:1/1.8 英寸200 万像素单片CCD | |
变焦 | 数码变焦1x ~ 8x | ||
物镜转换器 | 6 孔电动物镜转换器 | ||
微分干涉单元 | 微分干涉滑片:U-DICR, 内置偏振光片单元 | ||
物镜 | 明视场平面半消色差透镜5x、10x LEXT 平面复消色差透镜20x、50x、100x | ||
Z 对焦部分行程 | 100 mm | ||
XY 载物台 | 100×100 mm(电动载物台), 选件: 300×300 mm(电动载物台) |
此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。
物镜 | ||||
型号 | 倍率 | 视场 | 工作距离(WD) | 数值孔径(N/A) |
MPLFLN5X | 108x-864x | 2,560-320 μm | 20.0 mm | 0.15 |
MPLFLN10X | 216x-1,728x | 1,280-160 μm | 11.0 mm | 0.30 |
MPLAPON20XLEXT | 432x-3,456x | 640-80 μm | 1.0 mm | 0.60 |
MPLAPON50XLEXT | 1,080x-8,640x | 256-32 μm | 0.35 mm | 0.95 |
MPLAPON100XLEXT | 2,160x-17,280x | 128-16 μm | 0.35 mm | 0.95 |