激光共焦扫描显微镜

OLS4100激光共焦扫描显微镜

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2019-10-08 11:51:39
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北京元中锐科集成检测技术有限公司

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产品简介

OLS4100激光共焦扫描显微镜是一款激光扫描显微镜,通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。Z高分辨率达10nm,可以方便快捷地获取影像,同时配备丰富的测量功能。

详细介绍

OLS4100激光共焦扫描显微镜是一款激光扫描显微镜,通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。zui高分辨率达10nm,可以方便快捷地获取影像,同时配备丰富的测量功能。

的测量

更大的样品范围

轻松检测85° 尖锐角

Razor with an Acute Angle
有尖锐角的样品(剃刀)

采用了有着高N.A. 的物镜和光学系统(能zui大限度发挥405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。

 

主机
LSM 部分 光源、检出系统 光源:405 nm 半导体激光 
检出系统:光电倍增管
总倍率 108x ~ 17,280x
变焦 光学变焦1x ~ 8x
测量 平面测量 重复性 00x: 3σn-1=0.02 µm
正确性 测量值的±2%以内
高度测量 方式 物镜转换器上下驱动方式
行程 10 mm
内置比例尺 0.8 nm 
移动分辨率 10 nm
显示分辨率 1 nm 
重复性 50x: σn-1=0.012 μm
正确性 0.2 + L/100 μm 以下(L=测量长度μm)
彩色观察部分 光源、检查系统 光源:白色LED, 
检查系统:1/1.8 英寸200 万像素单片CCD
变焦 数码变焦1x ~ 8x
物镜转换器 6 孔电动物镜转换器
微分干涉单元 微分干涉滑片:U-DICR, 
内置偏振光片单元
物镜 明视场平面半消色差透镜5x、10x 
LEXT 平面复消色差透镜20x、50x、100x
Z 对焦部分行程 100 mm 
XY 载物台 100×100 mm(电动载物台), 
选件: 300×300 mm(电动载物台)

此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。

物镜
型号 倍率 视场 工作距离(WD) 数值孔径(N/A)
MPLFLN5X 108x-864x 2,560-320 μm 20.0 mm 0.15
MPLFLN10X 216x-1,728x 1,280-160 μm 11.0 mm 0.30
MPLAPON20XLEXT 432x-3,456x 640-80 μm 1.0 mm 0.60
MPLAPON50XLEXT 1,080x-8,640x 256-32 μm 0.35 mm 0.95
MPLAPON100XLEXT 2,160x-17,280x 128-16 μm 0.35 mm 0.95

 

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