OLYMPUS/奥林巴斯 品牌
代理商厂商性质
北京市所在地
奥林巴斯MX51工业检测显微镜是一款高性价比的显微镜,适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。
考虑了检查效率的设计
鲜明图像和的分辨率为特点的光学系
软件方案
帮助实现多种观察方法的附件
内置离合器的载物台手柄
MX51主要操作部件集中在前面,操作人员易于操作,即使长时间操作也不会感到疲劳。150mm载物台内置离合器,可实现轻松移动。
电动物镜转换器示意图
电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。
UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容,可按照用途选用。另外,波像差控制带来的高品质,忠实于样本的中性色彩显示等,UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。
观察影像实例
明视场观察
暗视场观察
微分干涉观察
荧光观察
MX51工业检测显微镜丰富的产品阵容,可按需选择 | |
MPLAPON | 平场复消色差透镜 |
MPLFLN | 平场半复消色差透镜 |
MPLFLN-BD | 明暗视场用平场半复消色差透镜 |
MPLFLN-BDP | 反射偏振光用平场半复消色差透镜 |
LMPLFLN | 长工作距离平场半复消色差透镜 |
LMPLFLN-BD | 明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜 |
MPLN | 平场消色差透镜 |
MPLN-BD | 明暗视场用平场消色差透镜 |
SLMPLN | 超长工作距离平场消色差透镜 |
LCPLFLN-LCD | 液晶长工作距离平场半复消色差透镜 |
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可根据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,备有各种对应近红外线观察的单元。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。
近红外线观察单元
近红外线观察
在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置,可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。
荧光镜单元
荧光观察
透射照明单元
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载,实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA(数值孔径)的B型号两种型号。
MX51 规格 | |||
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正) | ||
机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明装置 | 明暗视场反射照明管(明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光) | ||
通用反射照明管(明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光) | |||
照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | |
透射照明 | 纤维光导 | ||
对焦单元 | 电动/手动 | 手动 | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微调灵敏度 | 微调旋钮转动1周移动0.1 mm | ||
zui大样本高度 | 30 mm | ||
物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 | |
明暗视场微分干涉5孔 | |||
明暗视场微分干涉中心输出5孔 | |||
明暗视场微分干涉6孔 | |||
手动式 | 明视场5孔 | ||
明视场微分干涉6孔 | |||
明视场微分干涉中心输出6孔 | |||
明视场微分干涉7孔 | |||
明暗视场5孔 | |||
明暗视场微分干涉5孔 | |||
明暗视场微分干涉中心输出5孔 | |||
明暗视场微分干涉6孔 | |||
载物台 | 行程 | 6×6英寸右下手柄: | |
4×4英寸右下(左下)手柄: | |||
观察筒 | 广角视场(视场数22) | 倒置 | 双目/三目观察筒 |
正像 | 三目观察筒 | ||
超宽视场(视场数26.5) | 倒置 | 三目观察筒 | |
正像 | 倾斜三目观察筒 | ||
附件单元 | IR单元/自动装载 | ||
外形尺寸 | 430(W)×591(D)×495(H)mm(标准组合) | ||
重量 | 26 kg(标准组合) |