总评

        Olympus MX61L是对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用），可以应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。

UIS 2物镜生成鲜明的观察影像

        UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。

主要操作集中配置在前面板上

        在对比度的决定上起重要作用的亮度光圈（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和亮度光圈（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。

观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

        为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。

       
                                                            倾斜镜筒示意图

安全快速的搬运晶圆

        MX61L能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。

       *自动晶圆搬送机AL110 详情请点击： http://www.recotech.com.cn/product_details.aspx?pid=48

       
                        自动晶圆搬送机AL110（200 mm规格）组合

 快速切换物镜，提高检查速度

        电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

           
                                                 电动物镜转换器示意图

变换物镜，亮度光圈（AS）也随之调节

        每次变换物镜时都需要调节亮度光圈（AS）的话，会影响检查速度。MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS（14级），只要切换物镜就能以zui合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS，提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

       
                                                       AS自动调节示意图

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

        对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284 mm）。另外，内置离合器的载物台夹子，可切换粗调和细调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。

       
                                             内置离合器的载物台夹子 

使用数码照相机记录和保存数码影像

        三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

半导体／FPD检查显微镜 MX61L 规格