气氛型高温探针台

功能描述：

快速实现室温-200℃环境的控温，可在真空环境下对样品进行光学，电学测试，测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料，形状不同可选择探针，插拔等多种安装测试方式。

快速实现室温-200℃环境的控温，可在真空环境下对样品进行光学，电学测试，测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料，形状不同可选择探针，插拔等多种安装测试方式。

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气氛型高温腔参数：

①　温度范围：室温-200℃；

②　标准铂电阻温度计；

③　控温精度：±0.1k；

④　真空度：10E-3Pa；

⑤　提供真空抽口*1、气体入口*1、气体出口*1、真空释放口*1；

⑥　匹配观察窗，插拔样品卡，探针卡，鳄鱼夹。