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德尔格 Polytron 3500 有毒气体监测仪
半导体工业的气体监测专家---德尔格Polytron3500基于裂解原理,用于连续监测环境中的毒气如NF3,和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500变送器集所有必要功能位一体,如气体采样,处理和分析。
选择性监测
选择合适的热解炉内部温度和合适的传感器,可对三氟化氮 NF3 或 氟化/氯化有机化合物(如 C4F6、C5F8 和其它 PFC)进行选择性监测。
使用方便
该热解器基本无需操作上的设置或调整。 4 至 20 mA 输出信号外加特殊状态信号可直接连至另一系统做进一步信号处理。
安装快速而简单
分体式设计理念——由安装基座和变送器主机构成,可以节省时间和成本。基座可以预先安装。 设备试运转时,主机可通过插锁方式与基座连接,预热过后即可投入运行。
测量结果可靠
采用zui前沿电子技术以及全屏蔽金属外壳,使得德尔格变送器具有的抗射频干扰性能。内置泵和高温裂解炉持久耐用,能够长期可靠运行。分流系统采用无干扰测量模式(针对常规流速0.5-1.5l/min)。