FS4000微型气体流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。*的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
 
FS4000微型气体流量传感器产品概述: 
siargo ltd FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围zui大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
siargo ltd FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围zui大到50SLPM；
产品特点: 
   - 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计 
  - 支持多种连接方式，易于安装与使用 
    - 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量 
    - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高 
    - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压 
    - 零点稳定度高 
    - 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性 
    - 低功耗、低压损 
    - 响应速度快 
产品特点: 

性能参数 FS4003 FS4008 单位 
通 径 3 8 mm 
zui大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 
量程比 100:1  
精 度 ±(1.5+0.2FS) % 
重复性 0.75 % 
零点输出飘移 ±30 mV 
输出飘移 0.12 %/oC 
响应时间 100 ms 
工作电源 8~18Vdc,100mA   
输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc   
zui大流量压损 100 600 pa 
zui大工作压力 0.5 MPa 
工作温度 -10 ~ +55 oC 
存储温度 -20 ~ +65 oC 
工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）   
机械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头  
校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa  
重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口）
71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头) 
英文说明
Unit performance parameters FS4003 FS4008 
3 8 mm diameter 
Maximum flow 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 
100:1 turndown ratio 
Accuracy ± (1.5 +0.2 FS)% 
Repeatability 0.75% 
Zero drift ± 30 mV 
Output drift 0.12% / oC 
Response time 100 ms 
Power Supply 8 ~ 18Vdc, 100mA 
Linear output, RS232 / analog voltage 0.5 ~ 4.5Vdc 
Maximum flow pressure loss 100 600 pa 
Maximum working pressure of 0.5 MPa 
Operating temperature -10 ~ +55 oC 
Storage temperature -20 ~ +65 oC 
Humidity <95% RH (with no icing or condensation) 
Mechanical interface BSPT1 / 4 (R1 / 4), 4mm/6mm/8mm quick connector 
Calibration methods of air (or other gases), 20oC, 101.325kPa 
Weight of 57 (with R1 / 4, BSPT1 / 4 interface) 
71 (with 4mm, 8mm fast interface, 68 (with 6mm quick connector)