1.真空度测量范围：        9.999×10^-1～1×10^-5
2.离子电流测量范围：    9.999×10^-1～1×10^-7
3.测量误差：                   ＜10%
4.测量分辨率：               10^-5pa
5.允许环境温度：           -20℃～50℃
6.空气湿度：                   ≤80%RH
7.电源：                          AC，220V，50Hz±10%
8.外型尺寸：                  420×290×210（mm）
9.高压输出：                  脉冲30kV15kHz
⒑重量：                         8kg