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上海市所在地
VMX4L正置金相显微镜
产品特点
· VMX4L / VMX6L可以实现X、Y方向105mm-158mm的移动范围。
· 全新设计的长工作距专业金相物镜,成像效果更**。
· 各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。
· 附件齐全,配置完善,可灵活进行系统组合与功能拓展。
· 人机工程学设计、坚实可靠的系统结构。
观察图实例
VMX4L正置金相显微镜
丰富的观察方式,满足您的检测需求
明场观察(反射)
远心柯拉反射照明系统,配以全新设计的无限远长工作距平场消色差金相物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。
斜照明
使用斜照明,可以使物体表面不同材质部分呈现立体图案,增加观察的对比度与视觉效果。
斜照明功能只限于VMX4L/VMX4LT机型。
DIC微分干涉观察
在正交偏光的基础上 , 插入DIC棱镜,即可进行DIC微分干涉观察。使用DIC技术 ,可以使样品表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,**的提高图像的对比度。可匹配带DIC功能的物镜,使整个视场的干涉色一致,微分干涉效果非常出色,高倍物镜DIC效果也较好。
产品结构设计
安全、稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,**的提高的系统的抗振能力与成像的稳定性。
前置低手位粗微同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压
器,可以适应不同地区的电网电压。
VMX6L机型底座内部设有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。
高性能物镜转换器
VMX机型的转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制,根据VMX系列机型配置及功能的不同,可以选择不同型号的转换器。
PI103C51型:明场5孔转换器,带DIC插槽,用于VMX4L/VMX4LT机型。
PI115C6BDI型:明暗场6孔转换器,带DIC插槽,用于VMX6L/VMX6LT机型。
不同的照明器可供选择
明场反射照明器:单颗大功率5W暖色LED照明,适用于
VMX4L/VMX4LT机型。
明场反射照明器:柯拉照明系统,带视场光阑与孔径光
阑,中心可调;带斜照明装置,适用于VMX4L/VMX4LT
机型。
明暗场反射照明器:带可变孔径光阑,视场光阑,中心均
可调;带明暗场照明切换装置,适用于VMX6L/VMX6LT
机型。
透射照明: VMX系列均可使用透反两用机型。透射光源
为单颗大功率5W暖色LED, 并带有N.A.0.5聚光镜。
透射照明与反射照明可独立控制,即透反照明可同时开启,
亦可单独开启。
大行程移动平台设计
VMX系列机型采用4〃/6〃平台设计,不仅适用于相应尺寸的晶圆及FPD检测,而且可用于小尺寸样品的阵列检测。
VMX4L/VMX4LT:4英寸双层机械移动平台,移动范围105mm×105mm;VMX6L/VMX6LT:6英寸三层机械移动平台,反射照明移动范围158mm×158mm,透射照明移动范围100mm×100mm;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动。
通过使用平台适配接口,所有平台可在VMX系列机型之间通用。
无限远铰链式三目观察头
ETTR型正像铰链三目观察头,所成像的方位与物体
实际方位一致,物体移动的方向跟像面移动的方向
相同,便于使用者观察与操作。适用于6英寸移动平
台配合使用。
VMX4LTH30R型铰链三目观察筒,适用于4英寸平
台配合使用。
两种类型的观察筒可以在VMX机型内通用。
产品附件
摄影/摄像附件 多种干涉滤色片可选
产品尺寸
VMX4L /MX4LT 技术参数规格
VMX6L /MX6LT 技术参数规格