YM-VS-601/602/1201日本ULVAC YM-VS-601/602/1201/1202A罗茨真空泵机组
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YM-VS-601/602/1201/1202A罗茨真空泵机组组成：
YM系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。
YM-VS-601/602/1201/1202A罗茨真空泵机组用途：
蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等
单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等
真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等
冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等
