PMS多点式检测系统AirSentry^® II多点式检测系统

AirSentry® II 多点式监测系统是新型的气悬浮分子污染监测器，在洁净室内利用灵敏的离子迁移光谱仪从多个位置去监测和显示气悬浮分子污染。 系统采用 16/30 多点采样系统，配备带有安全软件和通信的机载计算机。

在现代洁净室制造领域，工艺装备遍布大的洁净室区域和多层楼房区域。空气处理器会再循环洁净室里的大部分空气，这样容易传播分子污染，对原本不会接触到污染源的工艺步骤产生负面影响。

AirSentry II气悬浮分子污染监测系统提供高性价比的中央监测站，可以快速监测污染及通过设备广泛传播的采样点。这是战略性气悬浮分子污染监测计划的一个关键部分。

PMS多点式检测系统AirSentry^® II多点式检测系统

特点

• 多达30个采样位置的监测器

• AirSentry^® II使用点离子迁移光谱仪的特点—灵敏度高、可靠的、可重复的

• 酸类、胺类、氨以及氯化物的低污染检测

• 校准归属于国家标准技术研究所

• 实时图示软件

• 优点

• 每单个低成本的采样点

• 检测多点气悬浮分子污染混合物

• 程序化监测来检测气悬浮分子污染事件和趋势

• 体积小巧

• 测试位置的通用结构

• 应用

• 多点式洁净室以及生产隔区监测

• 新的洁净室内气悬浮分子污染的基线以及资格确认

• 化学过滤器有效率的分析以及资格确认

• 来自补充的和再循环空气的气悬浮分子污染分布的特性描述