1. 项目S500 (规格Type AR111)质量流量计 外部密封氟橡胶接触气体材料SUS316L,氟橡胶,磁性不锈钢调节阀类型非通电时常闭满量程流量(N2换算流量)10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min

1,2,3,5,10,20,30 L/min流量控制范围2%～100%F.S. (0.1～5V DC)流量测量范围0～100%F.S. (0～5V DC)响应时间（输出电压）1秒　(保证 1.5秒以内T98)工作环境温度5～45℃(精度保证　15～35℃)流量精度±1.0%F.S线性±0.5%F.S.重复性±0.2%F.S.工作压差10mL/min～5L/min :50～300kPa(d)

10L/min～30L/min :100～300kPa(d)大工作（使用）压力300 kPa(G)耐压3MPa(G)泄漏率1×10^-8Pa･m³/s(He)以下流量设定信号0.1～5VDC(2%～100%F.S.)流量输出信号0～5VDC(0%～100%F.S.)供电电源+15V±5% 100mA以下
－15V±5% 150mA以下管路接头1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR安装角度任意电气接头D-Sub　15pin输入输出阻抗输入：1MΩ以上　　输出：3mA以下附加功能Auto-zero、Auto-close

**满量程流量50mL/min一下的响应时间为2S以内

2. S500 (规格Type AR111)质量流量计 外形尺寸

3.电气接口