真空紫外光谱仪,真空紫外光谱仪技术特点-HORIBA科学仪器事业部

产品简介

PGS/PGM 200真空紫外光谱仪产品简介 PGS/PGM 200光谱仪凭借优异的消像差设计，可实现一机两用，配合单通道探测器作为单色仪，配合CCD使用作为摄谱仪。光路由一片平面光栅和一片超环面镜组成，为紫外光谱分析优化设计。掠入射光路设计将可探测波长拓展到4nm，与此同时，摄谱仪模式下焦平面垂直于出射光轴，使CCD上接受的光通量Z大化。

详细介绍

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PGS/PGM 200光谱仪凭借优异的消像差设计，可实现一机两用，配合单通道探测器作为单色仪，配合CCD使用作为摄谱仪。光路由一片平面光栅和一片超环面镜组成，为紫外光谱分析优化设计。掠入射光路设计将可探测波长拓展到4nm，与此同时，摄谱仪模式下焦平面垂直于出射光轴，使CCD上接受的光通量zui大化。

真空紫外光谱仪技术特点
HJY的消像差平面光栅结合超环面镜，同时兼顾高分辨率和低像差。
    在轴设计，光路易准直。
    出射光直射CCD表面，光通量大。
    只需更换出射狭缝和法兰，即可实现单色仪和摄谱仪之间的切换，一机两用。
    支持超高真空10^-9mbar，可接入同步辐射装置。

典型应用
    X射线光电子能谱
    等离子体物理研究
    高次谐波滤波
    紫外反射
    EUV光源表征

真空紫外光谱仪技术指标

三块标准光栅可选
54401010	1800 gr/mm 光栅，摄谱仪模式下光谱范围：4-16.5nm (75-310eV) 或 4-26nm (47-310eV) 出射端口色散：0.4-0.68nm/mm 分辨率：0.2nm
54402010	800 gr/mm光栅，摄谱仪模式下光谱范围：10-35 nm (35–124eV) 或10-56nm (22-124eV) 出射端口色散：1.0 – 1.14m/mm 分辨率：0.3nm
54406010	450 gr/mm光栅，摄谱仪模式下光谱范围：16-65 nm (7–80eV) 或 16-103nm (12-77eV) 出射端口色散：1.7–2.7m/mm 分辨率：0.5nm
光学设计	HJY平面光栅加超环面镜光路设计
焦长	200 mm
孔径	f/17
分辨率	低至0.2nm
波长驱动	步进电机
高真空	10^-6 mbar
真空泵法兰	DN63 LF
狭缝	测微狭缝
阵列探测器法兰	DN100CF/ICF152
可选项
狭缝	自动或固定
超高真空	10^-9 mbar，配备DN100CF真空泵法兰和DN40CF真空计接口

单色仪模式下测得的30.4nm 氦谱线

附件
    前镜腔，配备两块超环面镜，实现光源和单色仪之间的光学匹配
    后镜腔，配备两块超环面镜，实现单色仪和样品室之间的光学匹配
    样品室，可搭载4块直径不大于25mm的样品
偏振插片
    制冷机，zui低至4K
    真空泵

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常用功能直达