德国Phsytech深能级瞬态谱 DLTS

深能级瞬态谱DLTS我们在1990年推出了*数字DLTS，随着电脑技术的发展，使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上，用各种数学模型分析测量到的瞬态过程，如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS（等温瞬态光谱）信号重叠法、温度扫描信号重叠法（重折叠）。与其他系统相比，HERA-DLTS具有*的能量分辨率。

特点

l  自动接触检查

l  常规测试和加强软件

l  自动电容补偿

l  三终端FET电流瞬态测量

l  大电容和浓度范围

l  灵活性高、模块化硬件

l  支持各种冷却仓和温度控制器

l  傅里叶转换（F-DLTS），比例窗口和用户自定义校正功能

l  DLTFS（深层瞬态傅里叶光谱仪）评价

l  直接测量发射瞬态

l  使用28个不同的相关功能（软件）通过一次温度扫描，给出28个温度扫描信号

深能级瞬态谱DLTS操作模式

l  C-DLTS(电容模式)

l  CC-DLTS(定电容模式)

l  I-DLTS（电流模式）

l  DD-DLTS（双关联模式）

l  Zerbst-DLTS

l  O-DLTS（光激发模式）

l  FET-Analysis

l  MOS-Analysis

l  ITS（等温瞬态光谱仪）

l  缺陷分析

l  俘获截面测量

l  I/V, I/V(T) 查理森Plot分析

l  C/V, C/V(T)

l  TSC/TSCAP

l  PITS（光子诱导瞬态谱）

l  DLOS(特殊系统)