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CEL-OPTH-Ⅰ高温光热催化反应系统(光热协同) | ||
序号 | 技术 | 参数 |
1 | 加热功率 | 1.2KW (220V、50Hz) |
2 | 炉体隔热 | 风冷隔热 |
3 | 控温范围 | 常温~1000℃ (1℃),ZUI高1200℃; |
4 | 加热/冷却 | 加热30℃/min,冷却60℃/min |
5 | 快速冷却 | 风冷 |
6 | 标配光源 | CEL-PF300-T8氙灯光源系统(含滤光片) |
7 | 工作区 | 150mm; |
8 | 加热管 | 直径60mm,平面照射;材质:紫外高透高纯石英; (选配30mm) |
9 | 导光筒 | 石英棒,60mm,可更换玻璃,材质:紫外高透高纯石英 |
10 | 法兰接头 | ZL法兰接头,兼顾气密性和快速更换 |
11 | 滑轨 | 不锈钢双向滑轨,长度1100mm;(可升级自动滑轨) |
12 | 选配光源 | 汞灯光源、LED光源、微波无极光源 |
13 | 选配模块 | (1)PECVD 模块;(2)高真空系统模块;(3)配气系统模块 |
14 | 测试分析 | (1) 气相色谱仪 GC7920 (2)离子色谱仪(NH4+,NO2-,NO3-,SO42-,Br-等); |
功率 | 50~500W连续可调;AC220V、50HZ |
Rf频率 | 13.56MHZ(0.005%),稳定可调 |
噪声 | ≤55DB |
冷却 | 风冷 |
抽气速率(对空气) | 110L/S |
前级泵抽速 | 4L/S |
压缩比 | 氮气:>108; 氢气:5×102 |
极限压强 | 6×10-7Pa |
建议启动压强 | <100 Pa |
输入电压频率 | 220±20/50(V/Hz) |
CEL-OPTH-Ⅰ高温光热催化反应系统(光热协同) | ||
重要应用(材料制备+材料表征) 1) 高温光热催化反应系统实现高温过程中光催化反应,评价催化剂性能; 2) 可以让紫外光、可见光等光源照射到催化剂材料的表面,实现光热协同; 3) 光热催化反应器采用高透光石英玻璃管,可定制样品台; 4) 系统采用可平移的滑动结构,随时调整样品位置,实现快速加热或快速冷却; | ||
序号 | 技术 | 参数 |
1 | 加热功率 | 1.2KW (220V、50Hz) |
2 | 炉体隔热 | 风冷隔热 |
3 | 控温范围 | 常温~1000℃ (1℃),ZUI高1200℃; |
4 | 加热/冷却 | 加热30℃/min,冷却60℃/min |
5 | 快速冷却 | 风冷 |
6 | 工作区 | 150mm; |
7 | 加热管 | 直径60mm,平面照射;材质:紫外高透高纯石英; (选配30mm) |
8 | 导光筒 | 石英棒,60mm,可更换玻璃,材质:紫外高透高纯石英 |
9 | 法兰接头 | ZL法兰接头,兼顾气密性和快速更换 |
10 | 滑轨 | 不锈钢双向滑轨,长度1100mm;(可升级自动滑轨) |
11 | 标配光源 | CEL-PF300-T8氙灯光源系统(含滤光片) |
CEL-OPTH-Ⅱ高温光热催化反应系统(光热协同) | ||
重要应用(材料制备+材料表征) 1) 高温光热催化反应系统实现高温过程中光催化反应,评价催化剂性能; 2) 实现中真空系统下的光热催化,并配置等离子体活化系统,一体化设计; 3) 可以让紫外光、可见光等光源照射到催化剂材料的表面,实现光热协同; 4) 光热催化反应器采用高透光石英玻璃管,可定制样品台; 5) 系统采用可平移的滑动结构,随时调整样品位置,实现快速加热或快速冷却; | ||
序号 | 技术 | 参数 |
1 | 加热功率 | 1.2KW (220V、50Hz) |
2 | 炉体隔热 | 风冷隔热 |
3 | 控温范围 | 常温~1000℃ (1℃),ZUI高1200℃; |
4 | 加热/冷却 | 加热30℃/min,冷却60℃/min |
5 | 快速冷却 | 风冷 |
6 | 工作区 | 150mm; |
7 | 加热管 | 直径60mm,平面照射;材质:紫外高透高纯石英; (选配30mm) |
8 | 导光筒 | 石英棒,60mm,可更换玻璃,材质:紫外高透高纯石英 |
9 | 法兰接头 | ZL法兰接头,兼顾气密性和快速更换 |
10 | 滑轨 | 不锈钢双向滑轨,长度1100mm;(可升级自动滑轨) |
11 | 标配光源 | CEL-PF300-T8氙灯光源系统(含滤光片) |
12 | 等离子、中真空配置 | 等离子线圈、等离子电源、真空泵、真空计、控制电源 |
CEL-OPTH-Ⅲ高温光热催化反应系统(光热协同) | ||
重要应用(材料制备+材料表征) 1) 高温光热催化反应系统实现高温过程中光催化反应,评价催化剂性能; 2) 实现高真空系统下的光热,并配置等离子体活化系统,实现PECVD; 3) 配置三路气体流量控制,适用于光照高温CVD工艺下的材料制备; 4) 可以让紫外光、可见光等光源照射到催化剂材料的表面,实现光热协同; 5) 光热催化反应器采用高透光石英玻璃管,可定制样品台; 6) 系统采用可平移的滑动结构,随时调整样品位置,实现快速加热或快速冷却; | ||
序号 | 技术 | 参数 |
1 | 加热功率 | 1.2KW (220V、50Hz) |
2 | 炉体隔热 | 风冷隔热 |
3 | 控温范围 | 常温~1000℃ (1℃),ZUI高1200℃; |
4 | 加热/冷却 | 加热30℃/min,冷却60℃/min |
5 | 快速冷却 | 风冷 |
6 | 工作区 | 150mm; |
7 | 加热管 | 直径60mm,平面照射;材质:紫外高透高纯石英; (选配30mm) |
8 | 导光筒 | 石英棒,60mm,可更换玻璃,材质:紫外高透高纯石英 |
9 | 法兰接头 | ZL法兰接头,兼顾气密性和快速更换 |
10 | 滑轨 | 不锈钢双向滑轨,长度1100mm;(可升级自动滑轨) |
11 | 标配光源 | CEL-PF300-T8氙灯光源系统(含滤光片) |
12 | 高真空PECVD配置 | 等离子线圈、等离子电源、前级真空泵、分子泵(10-3Pa)、真空计、真空计、高真空规、控制电源、三路质量流量计控制(200sccm),混配气系统,控制系统 |
CEL-OPTH-Ⅳ高温光热催化反应系统(光热协同) | ||
重要应用(材料制备+材料表征) 1) 高温光热催化反应系统实现高温过程中光催化反应,评价催化剂性能; 2) 配置三路气体流量控制,适用于光照高温气体保护或气体参与反应的材料制备; 3) 可以让紫外光、可见光等光源照射到催化剂材料的表面,实现光热协同; 4) 光热催化反应器采用高透光石英玻璃管,可定制样品台; 5) 系统采用可平移的滑动结构,随时调整样品位置,实现快速加热或快速冷却; | ||
序号 | 技术 | 参数 |
1 | 加热功率 | 1.2KW (220V、50Hz) |
2 | 炉体隔热 | 风冷隔热 |
3 | 控温范围 | 常温~1000℃ (1℃),ZUI高1200℃; |
4 | 加热/冷却 | 加热30℃/min,冷却60℃/min |
5 | 快速冷却 | 风冷 |
6 | 工作区 | 150mm; |
7 | 加热管 | 直径60mm,平面照射;材质:紫外高透高纯石英; (选配30mm) |
8 | 导光筒 | 石英棒,60mm,可更换玻璃,材质:紫外高透高纯石英 |
9 | 法兰接头 | ZL法兰接头,兼顾气密性和快速更换 |
10 | 滑轨 | 不锈钢双向滑轨,长度1100mm;(可升级自动滑轨) |
11 | 标配光源 | CEL-PF300-T8氙灯光源系统(含滤光片) |
12 | 流量控制配置 | 控制电源、三路质量流量计控制(200sccm),混配气系统,阀门、气体混合罐、连接管路、控制系统 |