荧光光谱仪根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。近年来，X荧光光谱分析在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用得醉多也醉广泛。大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。并且具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点。
 

　　对于一些物质来说，产生荧光的能力是非常弱，以至一些普通探测器都无法响应。为了使荧光光谱仪能够接收到更多的荧光，往往采用以下几个措施：
 

　　1、提高激发光的强度：可以用激光器来代替卤素灯源，激光器的功率密度往往比卤素灯高的多。使用该方法，根据激光器功率的不同，荧光有几倍到几个数量级的提高。但是该方法受实验室条件限制，并不是任何时候都是可行的，同时，紫外波段的激光器价格比较昂贵。
 

　　2、提高探测器的光收集效率：可以在其它几个方向上放一些反射镜，把这些方向上的荧光反射到探测器上。使用该方法，可以使收集到的荧光增加几倍到十几倍。
 

　　3、改进光谱仪：荧光分析基本上都是通过光谱仪、分光光度计来实现，进入光谱仪、分光光度计的光通量受限于这些仪器的狭缝尺寸。我们可以增大狭缝尺寸，来提高进光量。但是，狭缝尺寸的增大，是以牺牲波长分辨率为代价，因此不能无限制的增加狭缝尺寸。提高光谱仪、分光光度计里面的各种反射镜、光栅对光的反射效率，也是增加探测器接受更多荧光的有效方法之一。