PI E-712+C-877.521+F-712.HA1 高精度单面光纤对准系统
E-712 数字压电控制器:模块化控制器,最多可支持 6 个轴,实现最高精度
高达 50 kHz 的伺服更新速率
高度稳定的 20 位 D/A 转换器
实时操作系统,实现出色的轨迹控制
从 Stage ID 芯片自动加载校准数据,以实现控制器和机械装置的互换性
灵活的接口:TCP/IP、USB、RS-232;可选的宽带模拟输入和输出
广泛的软件包
E-711.IA4:模拟接口模块,4个输入和输出
E-711.SA3:增量传感器模块
E-711.AL41:大功率放大模块,4通道,8瓦,-30 V至+135 V
C-887.52x 六足位移台运动控制器:用于控制 6 轴并联运动装置的紧凑型台式设备
使用矢量算法的复杂控制器
在笛卡尔坐标中指挥
通过命令轻松自定义坐标系
F-712.HA1:带有H-811六脚架和 NanoCube®纳米定位器的单面光子对准系统,带有4个模拟输入的E-712数字控制器,C-887Hexapod运动控制器,2个模拟输入,固件例程,快速对准功能,软件包。
用于 SiPh 晶圆、光子器件、PIC 和光纤的集成扫描/对准程序
强大的阵列对齐算法
跨多个设备、I/O 和自由度 (DoF) 快速、同步优化
为快速工艺开发提供广泛而深入的软件支持,包括在 Windows 和 Linux 上支持 C#、Python、LabVIEW 和 MATLAB 等流行语言
自动对准时间通常< 0.5 秒