IV 测量性能：0.1 fA / 0.5 µV 测量分辨率

测量功能包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV（使用 SMU）、HV-SPGU 的直接控制和任意线性波形生成 (ALWG) GUI。

可选的集成电容模块支持高达 5 MHz 的 CV 测量

可选的基于定位器的 CV-IV 开关解决方案具有 0.5 µV 电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 电流测量分辨率能力

通过内置半自动晶圆探针驱动器和测试序列轻松实现测试自动化，无需通过快速测试模式进行编程

可选的高压半导体脉冲发生器单元 (HV-SPGU) 具有 10 ns 可编程脉冲宽度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）输出。

可选的波形发生器/快速测量单元 (WGFMU) 具有 ALWG 和快速电流或电压测量功能。

10 ns 脉冲 IV 解决方案可用于表征高 k 栅极电介质和 SOI（绝缘体上硅）晶体管。

经典测试模式可用于提供 4155/4156 界面的外观、感觉和术语，同时通过充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 功能增强用户交互