从三个敏感选项中选择，实现精确的高阻抗和低电流测量。5½ 位 6514 型和 6517B 型静电计提供 1fA 灵敏度，输入阻抗 >200TΩ 的电压测量，以及低至 10fC 的电荷测量。6½ 位 6430 型亚 fA 远程 SourceMeter SMU 仪器能够以 1aA 的灵敏度测量电流。其噪声低、偏差小，非常适用于研究单电子器件、高电阻纳米线和纳米管、聚合物以及电化学应用。

特点：

• 电流测量：<1fA(包含噪声)～20mA。

• 电压测量：10µV(数字分辨率极限，可能含有噪声)～200V。

• 电阻测量：10Ω～200GΩ;至低电阻精度优于1%，最高电阻精度优于10%;(使用236、237、238测量，通过加电压测电流或加电流测电压实现，不直接显示阻值)。

• 电荷测量：10fC(数字分辨率极限，可能含有噪声)～20µC。

• 特性插头：3 Slot Triax