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货号：PN000877
产品资料
四探针测试仪（主机、S2A 测试台、FT201探头）
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分
析
| 测量范围 | 电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)； |
| 可测晶片直径 | 140mmX150mm(配S-2A型测试台)； |
| 恒流源 | 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调 |
| 数字电压表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； |
| 四探针探头基本指标 | 间距：1±0.01mm； |
| 四探针探头应用参数 | (见探头附带的合格证) |
| 模拟电阻测量相对误差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
| 整机测量最大相对误差 | (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
| 整机测量标准不确定度 | ≤5% |
| 计算机通讯接口 | 并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒 （在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。连接电脑使用时带自动测量功能， 自动选择适合样品测试电流量程； |
| 标准使用环境 | 温度：23±2℃； |
