新构思 外周驱动方式的圆弧型线性伺服单元

日机电装圆弧直线电机罗盘式ARC角度电机可从微小角度多圈动作对应必要的动作角度，实现节省空间且性价比优异的校准平台

R850    R1550(动作角度限定类型）

动力半径：

825mm 1525mm

R200   R360    R500 (多圈类型）

动力半径：

178mm 335mm 475mm

日机电装圆弧直线电机罗盘式ARC角度电机专为薄型高精度电弧应用而设计。

ARC系列 是专为角度运动，单圈或多圈360°圆周运动所设计的高性能弧形电机。ARC系列 为了保证“轻且薄”的设计理念，磁轨采用高性能强磁铁，保证尺寸的前提下还可以输出高扭矩。与环形光栅和弧形导轨搭配使用时，ACR系列可以实现更好的定位，重复精度和绝对精度。

产品特点：

• 采用高扭矩直驱无铁芯电机

• 重量轻的小尺寸外形尺寸

• 大光圈

• 圆弧运动、360 度或多圈旋转运动

• 零齿槽效应和异常平滑、精确的运动

• 高速、加速、响应快

• 内置霍尔传感器和温度传感器

• 零细隙——直接驱动技术

• 多线圈多轨道的灵活配置

• 易于组装

产品应用：

• 半导体设备

• 晶圆加工检测设备

• 光学设备

• 生物医学设备

• 精密定位台

• 锂电池设备

• 激光加工设备

• 印刷机

ARC弧形电机可根据客户的需要需求定制。多个线圈可增加生产工艺的灵活性，多个轨道可增加运动范围。ARC电机可实现高达 360°的旋转。

弧型直线电机介绍

适合微角对准动作。

根据行程以最小数量设置磁性基座。

实现性价比高的对准阶段。

多匝型（R200/R360/R500）可进行1转/多转动作。

通过将磁铁基座连接360°，不仅可以进行对准动作，还可以进行多匝动作。

·有效利用中空直径，适合透射型载物台、检查装置等。

高精度

・构成品为线圈+磁铁+线性编码器。

线圈+磁铁部的高度仅为29.6～40mm。为提高机械精度做出贡献。

由于在外周上设置位置传感器，因此可获得高分辨率，可进行高精度的定位。

例如，使用R850类型，分辨率为0.1μm传感器设置在半径850mm部时。

（2×π×0.85m）÷0.1μ实现相当于m=53407075ppr的分辨率。

轻薄

构成品是线圈+磁铁+线性编码器。线圈+磁铁部的高度仅为29.6～40mm。为提高机械精度做出贡献。

高维护性

由于线圈编码器为固定侧，所以即使在维护时也不进行工作台的拆卸，可以进行更换作业。

・电缆也是固定的，可以避免弯曲引起的断线故障。

R360/R500型可以低发热且高速动作

・大幅降低热膨胀对装置和工件的影响⇒对于相同程度的额定输出的马达，发热量为1/4。

・额定切线速度8.5m/（s额定转速：R360型4.03rps/R500型2.84rps）⇒实现工件扫描等节拍缩短。

弧型直线电机分类

弧型直线电机参数

弧型直线电机外形尺寸