FPD-PVD磁控濺鍍設備_磁控溅射-北京瑞科中仪科技有限公司手机版

详细介绍

FPD-PVD磁控濺鍍設備

隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加，製造設備也隨著變得更大，需要越來越大的設備投資。SYSKEY針對中小尺寸的需求開發串集的PVD 設備，擁有4個單獨的濺鍍腔體，讓客戶能任意搭配沉積的材料，同時保有彈性和具有選擇性的系統。

FPD-PVD磁控濺鍍設備

應用領域
TFT-LCD。太陽能電池。觸碰屏。氧化物、氮化物和金屬材料的研究。
配置和優點	選件
客製化基板尺寸最大為550 x 650 mm²(玻璃)。優異的薄膜均勻度小於±5％。穩定的溫度控制，可將基板加熱到400°C。	Cassette傳送站。基材電漿清潔。 OES、RGA或製程監控的額外備用端口。