串集多腔镀膜设备_其他设备-北京瑞科中仪科技有限公司手机版

详细介绍

串集多腔镀膜设备是一組真空腔系統，這些真空腔系統通過位於系統中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環境下連續進行。所有這些過程使外部環境的影響最小化，以防止在沉積的過程中基板表面氧化，並為元件製造提供了最大效率。

Syskey可根據客戶要求提供多腔體鍍膜系統。我們的系統通常包含濺鍍、蝕刻、PECVD、熱蒸發、ALD、退火、電漿清洗和冷卻系統，這些系統可用於FPD、電子行業、太陽能電池和半導體行業。

串集多腔镀膜设备参数

應用领域	腔體
半導體行業。太陽能電池。 LED。有機發光二極體。有機光伏打電池。平板顯示器。	客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和應用。帶有機械手臂的鋁製腔體，用於在腔體之間的傳送。
	選件
	濺鍍。 PECVD。乾蝕刻。 ALD/ PEALD。電漿清洗。熱退火。電子束蒸發。熱蒸鍍