MKS压力传感器质量流量计 INSTRUMENTS成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处，美*机仪器MKS INSTRUMENTS产品起源于压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。美*机仪器MKS INSTRUMENTS在现货的主要合作伙伴有AMEC、NMC、SMIC、HYNIX等，产品针对300MM半导体市场；而美*机仪器MKS INSTRUMENTS的半导体设备零部件的研发和制造也主要针对300MM半导体工艺要求。同时，美*机仪器MKS INSTRUMENTS还在积极开发太阳能、环境工程和玻璃镀膜等快速发展的市场。美*机仪器MKS INSTRUMENTS电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术等改善了设备的完好率和产品成品率，提高了生产产量和产品性能，美*机仪器MKS INSTRUMENTS目前产品主要包括：压力测量和控制系列的电容薄膜压力传感器、模拟和数字压力控制仪器和阀等提供半导体工艺上、下游压力控制设备；质量流量控制器测量和控制半导体工艺中各种高纯度、高精度气体流量；射频、直流及脉冲等离子电源、匹配器及测试工具为半导体工业提供了可靠的固态电源；ASTEXI系列产品提供诸如用于工艺腔清洁的ASTRON氟离子发生器，用于去胶工艺的R*EVOLUTION等离子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON气态和LIQUOZON液态臭氧发生器；另外美*机仪器MKS INSTRUMENTS还提供更广泛的真空产品、气体分析仪、静电控制、控制及信息技术等系列解决方案。
2006年，美*机仪器MKS INSTRUMENTS完成了对ION SYSTEMS、UMETRICS和NOVX的三桩收购，大大扩展了其制程控制产品系列和提升了其市场竞争力。随着现货本土半导体产业的迅速发展，国外芯片设备供应商纷纷淘金于现货大陆，而本土制造厂的崛起也为零配件供应商带来了更大的契机。在2006年度美*机仪器MKS INSTRUMENTS营业额达到7.83亿美元。
MKS压力传感器质量流量计型号如下：
120AA-00010RAJ 120AA-00010RBJ 120AA-00010RCJ 120AA-00100RAJ 120AA-00100RBJ 120AA-00100RCJ
120AA-01000RAJ 120AA-01000RBJ 120AA-01000RCJ 120AD-00001RAU 120AD-00001RBU 120AD-00001RCU
120AD-00001RDB 120AD-00001REB 120AD-00010RAU 120AD-00010RBU 120AD-00010RCU 120AD-00010RDB
120AD-00010REB 120AD-00100RAU 120AD-00100RBU 120AD-00100RCU 120AD-00100RDB 120AD-00100REB
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