*瑞士INFICON隔膜真空计

INFICON隔膜真空计CDG045D2是一种高精度真空测量仪器，专为恶劣的制造环境而设计。经过验证的温控，耐腐蚀，超纯陶瓷传感器可在多年内提供的跨度稳定性，并具有*的零稳定性。Edge附带INFICON*传感器屏蔽，可保护仪表免受不良过程副产品的影响。良好的电子元件为所有应用和可选的EtherCAT现场总线接口提供广泛的可配置信号调理。创新的加热概念使触摸表面更加凉爽，节省了宝贵的工具空间。INFICON Edge是同类产品中小的真空测量仪器。

瑞士INFICON隔膜真空计是利用隔膜在气体分子作用下发生变形而测量压强的真空计，其基本原理如图1所示。电容式隔膜真空计内部有两个空间，隔膜右侧连接真空，左侧的参照空间可以保持在大气压或其他一定的真空度。如果p2 <p1，则隔膜就如图1所示向右侧变形;反之，就向左侧变形。隔膜和电极之间处于绝缘状态，两者之间的距离随p2 的变化而改变，从而引起其间的电容变化。反过来，通过测量隔膜和电极之间的电容，就可知隔膜的变形量，继而推算出压强。

p1 和p2之间的压强差很小时，隔膜的变形也很小，要精确地测量真空度，需要隔膜更薄。可是，如果两侧压强差很大，则隔膜可能发生永玖变形甚至破损。通常情况下，为了防止隔膜过度变形，在电极和隔膜之间施加直流电压，通过静电引力使隔膜不发生变形。通过测量直流电压值，即可知压强，这种真空计被称为单电容隔膜真空计。在隔膜两侧分别设置电极而实现的差动式双电容隔膜真空计，进一步提高了测量精度和范围。隔膜材料通常使用厚度为几十微米的因科内尔铬镍铁合金(Inconel)。为避免腐蚀气体的腐蚀，也有使用陶瓷隔膜的产品。电容式隔膜真空计测量的真空度与气体成分无关，反应快、重复性高，非常适合于氧气及油蒸气等特殊环境的真空测量。

可以*替代美国MKS的真空计。MKS真空计是美国原厂原装，因为此产品大部分使用在军工方面，再加上中美贸易战的影响，美方政府限制MKS的真空计进口到现货，所以之前很多使用美国MKS真空计的用户们感到非常头疼，我司了解到了这样的情况后，让我司高级工程师徐工找了很多品牌的真空计试图替代美国MKS真空计，反复试验了很多次之后，终于找出了一款可以*替代美国MKS真空计的产品，它就是瑞士INFICON，以上就是我为大家讲解的瑞士INFICON其中一款真空计的原理及用途！

*瑞士INFICON隔膜真空计

特点：
紧凑，节省宝贵的工具空间
易于集成，EtherCAT，各种满量程和法兰，标准有两个设定点
轻松一键式或远程信号零点命令，零点偏移可调
诊断端口，用于快速维护和维护
两年保修，更长的使用寿命，良好的加热概念和仪表保护
即使在恶劣的等离子应用中，由于出色的信号稳定性和可重复性，也无需长期重新校准
合规性和标准：CE，EN，UL，SEMI，RoHS
典型应用
CVD，蚀刻，PVD和其他半导体生产工艺

产品规格

类型 1000托，1100毫巴 500 ... 1 Torr / mbar

准确度（1） 读数百分比 0.15 0.15

温度效应  

零 ％FS /°C 0.0025 0.0025

在跨度上 读数％/°C 0.01 0.01

压力，大 kPa（值） 400 260

解析度 百分比FS 0.003 0.003

读数低 百分比FS 0.01 0.01

建议读数低 百分比FS 0.05 0.05

建议的低控制压力 百分比FS 0.5 0.5

温度  

传感器 ℃下 45 45

操作（环境） ℃下 +10 ... +40 +10 ... +40

法兰烘烤 ℃下 ≤110 ≤110

存储 ℃下 -20 ... +65 -20 ... +65

电源电压 +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％）

能量消耗  

在加热期间 w ^ ≤15 ≤15

在工作温度下 w ^ ≤10 ≤10

输出信号（模拟） V（直流） 0 ... +10 0 ... +10

回复时间（2） 女士 三十 三十

防护等级 IP 40 IP 40