低温冷却循环器泵产品概况：

1、导热液体温度可调节

2、采用阿斯帕拉、丹弗斯、美优乐、谷轮等品牌压缩机，性能稳定，可持续工作

3、人性化设计，灵活更方便

4、微电脑温度控制器，温度数字显示，调节单位0.1度，温度范围5度~35度可调

5、采用热气旁通，节约能源，提高控制精度

6、多种故障报警（超温报警、传感器报警、高压报警、压缩机过热报警）

7、开机延时保护

8、所有部件均安全接地

9、高性能循环泵，可保证每天连续24小时运行

低温冷却循环器泵对半导体制造装置发热部的冷却：单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。对激光装置发热部分的冷却：激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。

低温冷却循环器泵技术参数