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半导体抛光液制备装置
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上海岩征实验仪器有限公司
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多个不同规格的储罐,分别用于存放磨料(如纳米级二氧化硅、氧化铝等)、化学添加剂(如氧化剂、表面活性剂、螯合剂等)以及溶剂(如水、有机溶剂等)。
高精度的计量泵或称重传感器,能够按照精确的配方比例准确地添加各种原料。
强力搅拌器或均质机,确保各种原料充分混合均匀,达到微观层面的均匀性。
加热和冷却装置,可根据需要控制反应和混合过程中的温度,以优化化学反应和物理混合效果。
精细的过滤装置,如微孔过滤器或超滤膜,用于去除可能存在的大颗粒杂质和团聚物,保证抛光液的纯净度。
在线粒度分析仪:实时监测磨料颗粒的粒径分布。
pH 计:检测溶液的酸碱度。
电导率仪:测量溶液的电导率,以评估溶液中离子的含量。
对整个制备过程进行自动化控制和数据记录,保证生产的稳定性和可重复性。
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